技术参数

RF电源：晶体管射频，带自动适配器
整机规格：700×650×1760 mm 
整机重量：约500 Kg
清洗舱规格：550×520×480 mm（不锈钢）
清洗舱有效容积：137 L
放置料盒数量：24个（料盒尺寸150×80×160 mm）                       
输入电源：380 V（三相）／50 Hz
整机输入功率：2000 W （含真空泵）
射频输出：0～1000 W（连续可调）                                 
射频频率：13.56 MHz                                   
极限真空度：< 80 Pa
显示控制：全彩触摸屏PLC控制系统
清洗时间范围：可程序设置0～120 min
质量流量计：1路2 slm
清洗效果：水滴角≤30°
玻璃观察窗：观察反应舱内辉光状态
常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等